| 发明名称 | 聚乙烯亚胺作为界面修饰层的TiO<sub>2</sub>紫外探测器及其制备方法 | ||
| 摘要 | 聚乙烯亚胺作为界面修饰层的TiO2紫外探测器及其制备方法，属于半导体光电器件技术领域。探测器由石英衬底、作为光敏层的TiO2薄膜和金属叉指电极组成，其特征在于：TiO2薄膜经羟基化处理，并在其与金属叉指电极之间制备有聚乙烯亚胺界面修饰层。首先，采用溶胶凝胶法制备TiO2薄膜，将制备好的薄膜进行羟基化处理，再将制备好的PEI溶液旋涂在羟基化处理后的TiO2薄膜上，最后采用磁控溅射的方法制备金属叉指电极，从而得到最后的紫外探测器。通过引入PEI作为界面修饰层，可以有效降低势垒的高度，进而改善光电流及响应速度，提高器件的整体性能。 | ||
| 申请公布号 | CN103236464A | 申请公布日期 | 2013.08.07 |
| 申请号 | CN201310140672.8 | 申请日期 | 2013.04.14 |
| 申请人 | 吉林大学 | 发明人 | 阮圣平;谷学汇;孟凡旭;刘彩霞;沈亮;周敬然;郭文滨;温善鹏;董玮;张歆东;刘奎学;陈丽华 |
| 分类号 | H01L31/09(2006.01)I;H01L31/0216(2006.01)I;H01L31/032(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/09(2006.01)I |
| 代理机构 | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人 | 张景林;刘喜生 |
| 主权项 | 一种聚乙烯亚胺作为界面修饰层的TiO2紫外探测器，由石英衬底、作为光敏层的TiO2薄膜和金属叉指电极组成，其特征在于：TiO2薄膜经羟基化处理，并在其与金属叉指电极之间制备有聚乙烯亚胺界面修饰层。 | ||
| 地址 | 130012 吉林省长春市前进大街2699号 | ||