发明名称 CIGS薄膜太阳能电池硒化物的制备方法
摘要 本发明涉及一种CIGS薄膜太阳能电池吸收层,具体说是CIGS薄膜太阳能电池硒化物的制备方法,其包括将Cu、In、Ga中的一种置于一容器的上层加温区,按配比要求将Se置于下层加温区;对上、下层加温区分别加温形成对流制备粉末;将粉末加工得到所需的块体靶材的步骤。本发明根据各材料的熔点和沸点的不同,采用不同的加温方式,使Se以气态,Cu、In或Ga以液态的形式形成对流,使两者混合更加充分,不仅进一步增加了Se在合金中分布的均匀度,提高了靶材的致密度而且减少了反应时间,提高了生产效率;同时,由于本发明是根据材料熔点和沸点的不同采用不同温区加温,可对熔点较低的材料进行较低温度的熔化,而避免了一律采用较高温度对各材料进行熔化,节约了成本。
申请公布号 CN103236472A 申请公布日期 2013.08.07
申请号 CN201310153682.5 申请日期 2013.04.28
申请人 柳州百韧特先进材料有限公司 发明人 陈进中;吴伯增;伍祥武;林东东;甘振英;谢元锋;吕宏
分类号 H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 代理人 姚迎新
主权项 CIGS薄膜太阳能电池硒化物的制备方法,该硒化物为Cu2Sex或M2Sey,其中M为In、Ga 中的一种元素,x的取值为0.95~1.05,y的取值为2.8~3.2,其特征在于:包括以下步骤:(1)将Cu、In、Ga中的一种置于一容器的上层加温区,按配比要求将Se置于该容器的下层加温区,在小于10‑2Pa真空度条件下封闭容器或者在充入低于大气压力的氩气、氮气或氦气的条件下封闭容器;(2)首先对上层加温区以10~20℃ /min 的升温速率、按照最后调整到高于材料熔点的温度分为2~ 5段升温恒温,每个温度段温度为(‑30~30)℃ +最后调整到的高于材料熔点的温度/(2~ 5)+1,恒温时间分别为1~2 小时;接着将温度调整到高于材料熔点的温度,材料熔化后流向下层加温区,待材料全部流出后停止加热;同时,对下层加温区以10~20℃ /min 的升温速率、按照最后调整到高于Se沸点的温度对应分为2~5段升温恒温,每个温度段温度为(‑30~30)℃ +最后调整到高于Se沸点的温度/(2~5)+1,恒温时间分别为1~2 小时,然后将温度调整到高于Se沸点的温度,使气态Se与向下运动的材料形成对流,直至上层加温区的材料全部流入下层加温区;最后,将下层加温区的温度调整到高于材料熔点或沸点的温度,保温2小时~10小时,随后在8小时内缓慢冷却到室温,将制备的块体从容器内取出后球磨,将粉末筛分,得到粉末产品;(3)将制备出的粉末放入热压炉模具中在500℃~ 900℃、30MPa ~ 300MPa压制后按需要的尺寸加工即得到所需的块体靶材。
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