使用内置器件标准接口的测试装置和半导体设备

摘要

接口电路经由与主总线不同的测试控制总线BUS3连接到ATE，接收从ATE输出的控制信号，并且根据该控制信号控制多个BIST电路。此外，DUT被配置成，使得ATE能够经由测试控制总线读出该控制信号所指定的测试结果信号。BISI同步控制单元生成第一控制信号和第二控制信号，并且将这些信号经由测试控制总线提供给DUT，所述第一控制信号用于各个地控制包含在DUT中的多个BIST电路，所述第二控制信号用于读取BIST电路所生成的测试结果信号。

主权项

一种用于半导体设备的测试装置，其中，所述半导体设备包括：多个功能块，所述多个功能块经由主总线输入/输出信号，并且执行预定的信号处理；多个内置自测电路，即多个BIST电路，所述多个BIST电路按照功能块的增量而设置，所述多个BIST电路中的每一个测试对应的功能块，并且根据测试结果生成数字信号形式的测试结果信号；以及接口电路，该接口电路经由不同于所述主总线的测试控制总线连接到所述测试装置，接收从所述测试装置输出的控制信号，并且被配置成，使得所述接口电路能够根据所述控制信号控制所述多个BIST电路，并且使得所述测试装置能够经由所述测试控制总线读出根据所述控制信号而指定的测试结果信号，并且，其中所述测试装置包括：测试单元，该测试单元经由所述主总线发送信号到所述半导体设备和/或从所述半导体设备接收信号，并且指令所述功能块中的至少一个执行所述预定的信号处理；以及控制单元，该控制单元生成第一控制信号和第二控制信号，所述第一控制信号用于分别控制包含在所述半导体设备内的所述多个BIST电路，所述第二控制信号用于从包含在所述半导体设备内的所述接口电路读出由BIST电路生成的测试结果信号；同步控制单元，该同步控制单元接收由所述控制单元生成的所述第一控制信号和所述第二控制信号，并且与由所述测试单元提供的测试速率同步地，将所述第一控制信号和所述第二控制信号经由所述测试控制总线提供给所述半导体设备，在所述测试单元发送信号到所述半导体设备和/或从所述半导体设备接收信号，并且所述功能块中的至少一个执行所述预定的信号处理的状态下，所述控制单元将与所述功能块中的至少一个对应的BIST电路设置为激活状态，由此测 试所述功能块中的至少一个。