有机半导体器件和其制造方法

摘要

本发明的一个目的在于提供用于制造便宜有机TFT的一种方法，而不依赖昂贵专用设备，也不使有机半导体暴露于大气中。此外，本发明另一目的在于提供一种在低温下制造有机TFT的方法，而不引起材料热分解的问题。鉴于上述问题，本发明的一个特征在于在有机半导体薄膜形成一层起保护膜作用的薄膜状保护层。该薄膜状保护层可通过用粘接剂等将其固定在薄膜状支撑体上的方法形成。

主权项

一种用于制造半导体器件的方法，所述方法包括如下步骤：在具有绝缘表面的基片上形成栅电极；在该栅电极上形成栅极绝缘膜；在所述栅极绝缘膜上形成有机半导体薄膜；和形成源电极及漏极，使之与所述有机半导体薄膜接触；在所述基片上放置施加有粘接剂的薄膜状支撑体；并且采用卷筒将所述薄膜状支撑体与所述基片粘合。