旋转机械用部件

摘要

本发明提供一种旋转机械用部件，其在基材的表面上层叠有由陶瓷构成的硬质覆膜和由含氟类金刚石碳构成的防污覆膜，且与气体直接接触的环境下的耐水蚀性以及耐污性优越。

主权项

一种旋转机械用部件，其特征在于，具备：基材；由TiN、TiAlN、CrN、TiC、TiCN、ZrN中的至少1种构成的硬质覆膜；由含氟类金刚石碳膜构成的防污覆膜，在所述基材上层叠有所述硬质覆膜和所述防污覆膜，所述防污覆膜是倾斜组成膜，其以从所述硬质覆膜侧随着朝向防污覆膜的表面氟浓度变高的方式在膜厚方向上设有浓度梯度，且所述表面的氟浓度为20质量％以上且40质量％以下的范围。