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发明名称
摘要
申请公布号
JP5257225(B2)
申请公布日期
2013.08.07
申请号
JP20090108791
申请日期
2009.04.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/027;B29C33/38;B29C59/02
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
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