气动伺服调焦机构

摘要

本发明公开了一种气动伺服调焦机构，包括安装座、镜座、反射镜和激光聚焦装置，所述安装座上设有一进光通道和一出光通道，镜座嵌设于安装座上，反射镜固定于镜座上，反射镜内部形成一压力腔，该压力腔通过压力接口与外界气源连通，反射镜压力腔朝向安装座内部的一侧壁为受压力曲率能够发生变化的镜片膜，该镜片膜能够将进光通道内的光束反射后经出光通道射入激光聚焦装置的光束通道内，本发明通过气压使镜片膜曲率发生变化来实现反射镜的快速调焦，其结构简单，使用方便，加工制造费用低。

主权项

一种气动伺服调焦机构，其特征在于：包括安装座（4）、镜座（2）、反射镜（3）和激光聚焦装置，所述安装座（4）上设有一进光通道和一出光通道，镜座（2）嵌设于安装座（4）上，反射镜（3）固定于镜座（2）上，反射镜（3）内部形成一压力腔（301），该压力腔（301）通过压力接口（30）与外界气源连通，反射镜（3）压力腔（301）朝向安装座（4）内部的一侧壁为受压力曲率能够发生变化的镜片膜（305），该镜片膜（305）能够将进光通道内的光束反射后经出光通道射入激光聚焦装置的光束通道内。