发明名称
摘要 Non-polar (1120) a-plane gallium nitride (GaN) films with planar surfaces are grown on (1102) r-plane sapphire substrates by employing a low temperature nucleation layer as a buffer layer prior to a high temperature growth of the non-polar (1120) a-plane GaN thin films
申请公布号 JP5254521(B2) 申请公布日期 2013.08.07
申请号 JP20030586403 申请日期 2003.04.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/04;C30B25/02;C30B25/04;C30B25/10;C30B25/18;C30B29/38;C30B29/40;C30B29/60;H01L33/00;H01L33/32;H01S5/343 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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