正型感光性树脂组合物、使用其的固化膜及光学设备

摘要

本发明提供一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有(a)聚硅氧烷，是通过将特定的有机硅烷和有机硅烷低聚物水解并使其部分缩合而合成的；(b)铝化合物粒子、锡化合物粒子、钛化合物粒子、锆化合物粒子、它们的复合粒子或它们中任一种与硅化合物的复合粒子；(c)萘醌二叠氮化物化合物及(d)溶剂，上述有机硅烷低聚物含有特定的有机硅烷。上述正型感光性树脂组合物具有优异的灵敏度和分辨率、且不破坏高折射率、高透明性的特性。

主权项

1.一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有(a)聚硅氧烷，是通过将下述通式(1)表示的有机硅烷和有机硅烷低聚物水解并使其部分缩合而合成的；(b)铝化合物粒子、锡化合物粒子、钛化合物粒子、锆化合物粒子、它们的复合粒子或它们中任一种与硅化合物的复合粒子；(c)萘醌二叠氮化物化合物及(d)溶剂；所述有机硅烷低聚物含有下述通式(2)表示的有机硅烷；所述通式(1)中，R¹表示氢、碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为2～10的链烯基或碳原子数为6～16的芳基；R²表示氢、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为2～6的酰基或碳原子数为6～16的芳基；n表示0～3的整数；当n为2以上时，多个R¹分别相同或不同；此外，当n为2以下时，多个R²分别相同或不同；所述通式(2)中，R³～R⁶各自独立地表示氢、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为2～6的酰基或碳原子数为6～16的芳基；m表示2～8的范围；当m为2以上时，多个R⁴及R⁵分别相同或不同。