电极引入装置

摘要

本发明涉及等离子体增强化学气相沉积设备，公开了一种电极引入装置，其包括两个并列设置的电极支架；每个电极支架的一端与一个炉门电极相连，另一端为金属触头，与石墨舟上的电极块相连；还包括穿过炉门的连接杆，其伸入炉门内侧的一端连接石墨舟支撑杆，所述石墨舟支撑杆为至少两根并列的碳化硅棒。本发明中，电极引入装置采用搭接形式，依托电极支架将金属触头直接和炉门电极连接起来，石墨舟上的两个石墨垫块充当两电极块，每个金属触头上，与电极块上凹槽相接触的位置设置有凸起，接触良好，自动化程度高；碳化硅双棒耐温在1000多度，不易变形，提高电极接触的稳定性；机械机构简单，成本低，装配难度降低。

主权项

电极引入装置，其特征在于，包括：两个并列设置的电极支架；每个电极支架的一端与一个炉门电极相连，另一端为金属触头，与石墨舟上的电极块相连；所述电极块有两块，分别位于石墨舟两侧，且每块电极块上具有凹槽；所述每个金属触头上，与电极块凹槽相接触的位置设置有凸起。