| 发明名称 | 定位系统 | ||
| 摘要 | 本发明揭示了一种定位系统，包括安装架、安装在所述安装架上的第一移动模块、安装在所述第一移动模块上的第二移动模块以及安装在所述安装架上的轨道模块；所述第一移动模块包括第一气缸、安装在所述第一气缸上的第一传动杆以及第一传动块；所述第二移动模块包括安装在所述第一传动块上的第二气缸、安装在所述第二气缸上的第二传动杆以及安装在所述第二传动杆上的第二传动块。与现有技术相比，本发明定位系统能够对用来固定单晶硅的晶硅夹具进行精确定位。 | ||
| 申请公布号 | CN103236411A | 申请公布日期 | 2013.08.07 |
| 申请号 | CN201310154812.7 | 申请日期 | 2013.04.28 |
| 申请人 | 苏州工业园区高登威科技有限公司 | 发明人 | 李佳 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种定位系统，其特征在于：所述定位系统包括安装架、安装在所述安装架上的第一移动模块、安装在所述第一移动模块上的第二移动模块以及安装在所述安装架上的轨道模块；所述第一移动模块包括第一气缸、安装在所述第一气缸上的第一传动杆以及第一传动块；所述第二移动模块包括安装在所述第一传动块上的第二气缸、安装在所述第二气缸上的第二传动杆以及安装在所述第二传动杆上的第二传动块。 | ||
| 地址 | 215121 江苏省苏州市苏州工业园区展业路8号中新科技工业坊2-2F-A单元 | ||