一种短毫米波行波管用金刚石输能窗及其制造方法

摘要

一种短毫米波行波管用的金刚石输能窗，属于真空电子技术领域，包括输能窗片、连接波导和封接窗架，该金刚石输能窗的上下两部分是对称放置并与波导相连接的封接窗架，它们的中部密封地紧夹金刚石窗片。根据以上所表述金刚石输能窗的制造方法为，ａ选用基底硅片；ｂ装入微波等离子体化学气相沉积设备；c充入氢气；d启动等离子体放电；e提高气压和微波功率，基片温度达到850～950°Ｃ；f加入甲烷，开始金刚石的生长；g结束生长，取出金刚石材料；h进行研磨，抛光并用激光切割成窗片；i窗片金属化；j窗片与窗架对中焊接。该输能窗的匹配性能和传输损耗均优于蓝宝石窗。

主权项

一种短毫米波行波管用的金刚石输能窗，包括输能窗片、连接波导和封接窗架，其特征在于，该金刚石输能窗的上下两部分是对称放置并与波导相连接的封接窗架，它们的中部密封地紧夹一片金刚石窗片。