发明名称 METHOD FOR STORING A SILICON WAFER
摘要
申请公布号 EP1298715(B1) 申请公布日期 2013.08.07
申请号 EP20020703960 申请日期 2002.03.11
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 ABE, TATSUO;KANAZAWA, KENICHI;MIYASHITA, AKIRA;KASHIMURA, NORIO
分类号 H01L21/304;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/461 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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