一种提升和维持真空腔体真空度的方法

摘要

本发明涉及一种利用TEC制冷器给分子筛制冷提升和维持真空腔体真空度的方法，将真空腔体抽真空到至少10E-3mbar以上可达到的极限真空度；给TEC制冷器通电,TEC冷端对分子筛制冷至可达到的极限低温;分子筛被深度制冷后,气体吸附能力倍增,能够强力吸附真空腔体内残留大气和真空部件挥发气体，关闭真空腔体抽口阀门后,可使真空度维持在10E-6mbar水平，并能长期维持。本发明分子筛作为气体吸附剂,分子筛温度越低，吸附能力越强，使用TEC制冷器给分子筛深度制冷,分子筛的吸附能力倍增，有效提升并维持真空腔体真空度，能够满足较高真空度设备使用需求，体积小，成本低，效率高，使用简便、可重复使用。

主权项

一种提升和维持真空腔体真空度的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将真空腔体抽真空至10E‑3mbar以上；(2)所述真空腔体内，TEC制冷器通电工作,TEC制冷器的冷端给与其热导通的分子筛制冷。