离子收敛器及离子植布机

摘要

本实用新型公开一种离子收敛器及离子植布机。离子收敛器包括壳体、组合结构、磁场产生器以及固定环。组合结构固接于壳体的表面上。磁场产生器配置于壳体中。壳体的表面配置于组合结构与磁场产生器之间。组合结构配置于固定环与壳体的表面之间。组合结构包括多个板件。每一板件具有一边缘。板件的边缘围出一开口。固定环完全地暴露开口且覆每一板件的部分。此外，一种包括所述离子收敛器的离子植布机也被提出。

主权项

一种离子植布机，其特征在于，该离子植布机包括：离子源，提供多个离子；离子萃取器，自该离子源萃取该些离子并使该些离子形成一离子束；以及离子收敛器，配置于该离子束的传递路径上且收敛该离子束，该离子收敛器包括：壳体；组合结构，固接于该壳体的一表面上且与该壳体的该表面接触；以及固定环，该组合结构配置于该固定环与该壳体的该表面之间，该固定环位于该离子萃取器与该组合结构之间，该组合结构包括多个板件，每一该板件具有一边缘，该些板件的边缘围出一开口，该固定环完全地暴露该开口且覆盖每一该板件的部分。