一种金刚石线切割液及其制备方法

摘要

本发明公开了一种金刚石线切割液及其制备方法，通过采用多酚类化合物添加入PG切割液中，可起到清除多线切割过程中少量PG裂解产生的自由基的作用，阻止发生自由基链式反应，从而稳定整体PG组成成分。本发明设计合理、使用过程简单、操作方便、使用效果好且实用价值高，能解决现有硅片切割液存在的污染较严重、污片率较高的缺陷。

主权项

一种金刚石线切割液，含有丙二醇切割液，其特征在于，还含有多酚类化合物，所述多酚类化合物为原花青素类、黄酮类、单宁类、酚酸类、花色苷类中的一种或几种,所述多酚类化合物在丙二醇切割液中的重量百分比为0.1%～5.0%。