发明名称 SAWING APPARATUS OF SINGLE CRYSTAL INGOT
摘要 <p>Provided is a single crystal ingot sawing apparatus. The single crystal ingot sawing apparatus includes a wire saw configured to slice an ingot, a roller for configured to drive the wire saw, and a slurry bath for configured to receive slurry supplied onto the wire saw.</p>
申请公布号 EP2621699(A1) 申请公布日期 2013.08.07
申请号 EP20110829457 申请日期 2011.04.11
申请人 LG SILTRON INC. 发明人 KIM, YANG SUB
分类号 B28D5/04;B24B27/06;B28D1/08;H01L21/304 主分类号 B28D5/04
代理机构 代理人
主权项
地址