发明名称 APPARATUS OF INGOT GROWING AND METHOD OF MEITGAP MEASUREMENT
摘要
申请公布号 KR20130087122(A) 申请公布日期 2013.08.06
申请号 KR20120008143 申请日期 2012.01.27
申请人 LG SILTRON INCORPORATED 发明人 KIM, JAE SUNG;CHO, MIN CHEOL
分类号 C30B15/00;C30B29/06;H01L21/02 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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