发明名称 METHOD FOR CLEANING SEMICONDUCTOR AND DISPLAY PANEL DURING MANUFACTURING PROCESS OF SEMICONDUCTOR AND DISPLAY PANEL AND APPARATUS THEREOF
摘要
申请公布号 KR20130086754(A) 申请公布日期 2013.08.05
申请号 KR20120007672 申请日期 2012.01.26
申请人 SPACT CO., LTD. 发明人 CHOI, YOUNG JOON
分类号 H01L21/302;B08B1/00;H01L21/02 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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