可收折晶圆清洗盒支架及晶圆清洗装置

摘要

提供一种可收折晶圆清洗盒支架及晶圆清洗装置。可收折晶圆清洗盒支架系供配合晶圆清洗盒置放于清洗槽内进行晶圆清洗。不使用时，可收折晶圆清洗盒支架设计有折叠结构，可进行收合，藉此可减少占用体积，提高空间利用率。并且，可收折晶圆清洗盒支架与晶圆清洗盒套合时，利用设置于其上之顶件可将晶圆顶离晶圆清洗盒底部而形成一间隙，藉此使晶圆清洗时，化学溶液能不受到阻挡而能充分洗净晶圆。再者，利用顶件之特殊设计，可帮助水渍之排除，藉以达到更好的洗净及烘乾效果。