化学药剂浓度检测异常之早期预警装置

摘要

一种化学药剂浓度检测异常之早期预警装置，包含有一储存有至少一化学药剂的化学药剂储存槽、一与该化学药剂储存槽连接的浓度检测单元、一提供一时间讯号的时间计算单元，以及一预警单元。该浓度检测单元用以取得该化学药剂进行浓度检测，并发出一浓度讯号，该预警单元接收该浓度讯号以及该时间讯号，并根据一参数比对该浓度讯号对时间的变化，若该浓度讯号对时间变化不符合该参数，则发出一警示讯号。藉由该参数比对该浓度讯号是否正常的方式，进一步避免因该浓度检测单元故障或失准而造成生产良率降低的问题。