晶圆缺陷检测机台

摘要

一种晶圆缺陷检测机台包含承载平台、光学检测装置、位移机构与控制单元。光学检测装置置于承载平台的上方。光学检测装置具有光轴，且包含光源、分光镜、起偏振片、偏振分光棱镜、物镜、检偏振片与影像感测装置。分光镜、偏振分光棱镜、物镜、检偏振片与影像感测装置皆位于光轴上。起偏振片置于光源与分光镜之间。物镜置于偏振分光棱镜相对分光镜的一侧。检偏振片置于分光镜相对偏振分光棱镜的一侧。影像感测装置置于检偏振片相对分光镜的一侧。位移机构置于承载平台下，且连接承载平台。控制单元连接光学检测装置与位移机构。