基板搬运系统

摘要

本发明提供一种基板搬运系统，是被：收纳基板的第1及第2收纳卡匣、及于与前述第1及第2收纳卡匣的配置方向垂直的方向将前述第1及第2收纳卡匣分离配置并处理前述基板的处理装置之间搬运基板。此基板搬运系统，是具备：可同时搬运复数枚基板的同时搬运输送带、及在前述第1及第2收纳卡匣之间移动前述同时搬运输送带的输送带移动手段、及可个别搬运前述复数枚基板的个别搬运输送带、及进行前述个别搬运输送带上的前述基板、及前述处理装置的定位的定位手段。