基板搬运系统

摘要

本发明是提供一种基板搬运系统，可在基板的收纳卡匣、及处理装置之间搬运基板。此基板搬运系统，是具备：可将复数枚基板同时搬运的第1输送带、及与前述第1输送带连续配置可将前述复数枚基板个别朝前述搬运方向搬运的第2输送带、及具有载置前述第2输送带上的前述基板用的载置部且在前述第2输送带上朝与前述搬运方向垂直的方向移动前述基板用的移动组件、及将前述载置部及前述第2输送带相对昇降用的昇降组件。