气瓶柜

摘要

本新型提供一种气瓶柜，系应用于半导体制程，气瓶柜包含一柜体、一气隔件以及一气流管路。柜体内部具有一空间。气隔件置于柜体内，将柜体之空间区隔为一开放空间及一密闭空间，其中开放空间系用以放置半导体制程用之一惰性气体瓶，密闭空间系用以放置半导体制程用之一危险气体瓶。气流管路连接惰性气体瓶及危险气体瓶，用以将惰性气体瓶内之惰性气体流向气流管路。本新型之气隔件阻隔柜体之开放空间及密闭空间，藉此可减少气瓶柜于密闭空间之排气成本。