用于转移基板及限制自由基之设备

摘要

本创作之实施例提供一种用于在腔室内转移基板及限制处理环境之设备。本创作之一个实施例提供一种用于使用处理腔室之箍组件。箍组件包括：限制环，该限制环于该限制环内界定限制区；及三或更多个升降指，该三或更多个升降指附接于该箍。该三或更多个升降指经设置以支撑在限制环之内容积外之基板。