| 摘要 |
一种烤箱除污装置，其包含有一压力烤箱本体，该压力烤箱本体内设有腔体，该压力烤箱本体设有一出气口与一进气口；一冷却装置，该冷却装置设有一流体入口与一流体出口，且该流体入口及流体出口与该压力烤箱本体其出气口及进气口之间分别以管路相连接；一污染物捕捉装置，该污染物捕捉装置系设置于该冷却装置其流体出口与压力烤箱本体其进气口之间的管路上；藉由该冷却装置其流体出口与压力烤箱本体其进气口之间的管路上设有污染物捕捉装置，而可将腔体内的空气中之制程用化学物质冷凝为污染物，俾可避免该污染物再度进入压力烤箱本体内部污染腔体，而可减轻机台维护保养的负担及所需时间，进而使本创作可达到大幅降低机台维护成本并提升产能之功效。 |
