等能量脉波同步运动之雷射装置

摘要

一种等能量脉波同步运动之雷射装置，包含：共振腔，输出脉宽时间及能量稳定之复数个脉波；光束开关调制器，选择性地让其中一脉波通过；光束能量调制器，依据功率回授信号调整脉波之能量；光功率感测器，感测脉波之能量及脉宽时间；运动控制器，提供加工运动资讯；光回授控制器，依据脉波能量及加工运动资讯，输出功率回授信号至光束能量调制器；触发控制器，量测脉波自触发至光功率感测器检测到之时间差，并校正光束开关调制器开启时间点。藉此，可稳定加工品质，而应用于各雷射工业制程。