| 摘要 |
<p>Es wird eine Vorrichtung zur Herstellung eines fotoelektrischen Umwandlungselements zur Verfügung gestellt, die eine Ausheilungsbehandlung an einem flexiblen Substrat in einem kleinen Raum effektiv durchführen kann, eine Vergrößerung der Fläche der Vorrichtung in einem Aufstellungsraum und die Bearbeitungsdauer auf ein Minimum reduzieren kann, eine hohe Produktivität gewährleisten kann und die elektrischen Eigenschaften eines fotoelektrischen Umwandlungselements verbessern kann. Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Herstellung eines fotoelektrischen Umwandlungselements stellt das fotoelektrische Umwandlungselement und eine transparente leitfähige Dünnschicht auf einem flexiblen Substrat 1 her und befördert das flexible Substrat 1 zu einer Aufrollkammer 5, damit es um eine Aufrollwalze 8 gewickelt wird, die in der Aufrollkammer 5 vorgesehen ist. Die Aufrollkammer 5 weist ein Walzenkern-Heizelement 11 auf, das ein Heizmechanismus ist, der eine Ausheilungsbehandlung an dem flexiblen Substrat 1 durchführt, das nach dem Schichtherstellungsprozess aufgerollt worden ist.</p> |
