摘要 |
Eine akustische Resonatorvorrichtung beinhaltet einen ringförmigen akustischen Resonator, eine Heizspule und einen Wärmesensor. Der ringförmige akustische Resonator ist über einem Graben positioniert, welcher in einem Substrat der akustischen Resonatorvorrichtung ausgebildet ist. Die Heizspule ist um einen Umfang des ringförmigen akustischen Resonators herum angeordnet, die Heizspule beinhaltet einen Widerstand, welcher konfiguriert ist, einen Heizstrom zu empfangen. Der Wärmesensor ist konfiguriert, den Heizstrom als Antwort auf eine Temperatur der Heizspule anzupassen. |