METHOD FOR POLISHING A FLAT SURFACE OF A WORKPIECE MADE OF A BRITTLE MATERIAL, AND A DEVICE FOR CARRYING OUT THE METHOD

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Polieren einer ebenen Oberfläche (21) eines Werkstücks (10) aus einem spröden Werkstoff sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens. In einem ersten Polierschritt wird entlang einer ersten Polierrichtung (P1) auf der Oberfläche (21) des Werkstücks (19) ein Poliervorgang durchgeführt. In einem zweiten Polierschritt wird ein Poliervorgang entlang einer zweiten Polierrichtung (P2) auf der Oberfläche (21) des Werkstücks (19) durchgeführt, wobei die erste Polierrichtung (P1) und die zweite Polierrichtung (P2) in verschiedene Richtungen verlaufen.