| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING ELECTRICALLY SEMICONDUCTIVE OR CONDUCTIVE LAYERS WITH IMPROVED CONDUCTIVITY |
| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung elektrisch halbleitender oder leitender Metalloxidschichten mit verbesserter Leitfähigkeit, die sich insbesondere für die Herstellung flexibler Dünnfilmtransistoren eignen, auf damit hergestellte Metalloxidschichten sowie deren Verwendung zur Herstellung elektronischer Bauteile.</p> |
| 申请公布号 |
WO2013110434(A1) |
申请公布日期 |
2013.08.01 |
| 申请号 |
WO2013EP00063 |
申请日期 |
2013.01.10 |
| 申请人 |
MERCK PATENT GMBH |
发明人 |
HAEMING, MARC;KLYSZCZ, ANDREAS;BONRAD, KLAUS;KIRSCH, PEER;ISSANIN, ALEXANDER;WALKER, DANIEL |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/368 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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