| 摘要 |
<p>Es wird ein MEMS-Fluidsteuersystem geschaffen, das ein mikroelektromechanisches System aufweist. Das System umfasst mehrere Anschlüsse, einen Hohlraum, ein Ventil, einen Aktuator und ein Paar elektrischer Kontakte. Die mehreren Anschlüsse stehen in Verbindung mit dem Hohlraum, das Ventil ist in dem Hohlraum angeordnet und das Ventil ist mit dem Aktuator verbunden. Ferner umfasst das System einen Hydraulikkreis, der eine Druckzuführungsleitung in Verbindung mit einem ersten der mehreren Anschlüsse, eine Steuerleitung in Verbindung mit einem zweiten der mehreren Anschlüsse und einer Auslassleitung in Verbindung mit einem dritten der mehreren Anschlüsse aufweist. Das Ventil umfasst einen langgestreckten Abschnitt und einen Sperrabschnitt, wobei der Sperrabschnitt einen ersten, einen zweiten und einen dritten Abschnitt umfasst.</p> |
