发明名称 Czochralski-Ziehapparat zum Wachsenlassen von einkristallinen Siliziumrohlingen
摘要 Czochralski-Ziehapparat zum Wachsenlassen von einkristallinen Siliziumrohlingen, mit: einer Kammerumschließung (230); einem Tiegel (206) in der Kammerumschließung (230), der geschmolzenes Silizium enthält; einem Keimhalter (220a) in der Kammerumschließung (230) benachbart dem Tiegel (206), um einen Keimkristall (224) zu halten; einer Heizvorrichtung (204) in der Kammerumschließung (230), welche den Tiegel (206) umgibt; einem ringförmig gestalteten Hitzeschildgehäuse (300) in der Kammerumschließung (230), welches trapezförmige Gestalt aufweist und welches innere und äußere Hitzeschildgehäusewände (310, 330) enthält, die voneinander getrennt sind und vertikal verlaufen, und einem Hitzeschildgehäuseoberteil (340) und einem Hitzeschildgehäuseboden (320), die die inneren und die äußeren Hitzeschildgehäusewände (310, 330) verbinden, wobei das Hitzeschildgehäuseoberteil (340) von der inneren Hitzeschildgehäusewand (310) zu der äußeren Hitzeschildgehäusewand (330) hin nach oben zu schräg verläuft und wobei der Hitzeschildgehäuseboden (320) von der inneren Hitzeschildgehäusewand (310) zu der äußeren Hitzeschildgehäusewand (330) nach unten hin schräg abfällt; und einem Halterungsteil (350), welches das Hitzeschildgehäuse (300) innerhalb des Tiegels abstützt.
申请公布号 DE10066207(B4) 申请公布日期 2013.08.01
申请号 DE2000166207 申请日期 2000.11.10
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, JAE-GUN
分类号 C30B15/10;C30B29/06;C30B15/00;C30B15/14;H01L21/208;H01L21/26;H01L21/322 主分类号 C30B15/10
代理机构 代理人
主权项
地址