Filme mit niedriger Dielektrizitätskonstante und Herstellungsverfahren für diese Filme sowie elektronische Bauteile, die diese Filme verwenden

摘要

Ein Film mit einer niedrigen Dielektrizitätskonstante von 3,7 oder darunter, aufweisend feine Diamantpartikeln mit einer Partikelgröße zwischen 1 nm bis 1000 nm und Poren, wobei die Diamantpartikel auf ihrer Oberfläche Hydroxylgruppen sowie Carboxylgruppen und/oder Sulfonsäuregruppen tragen, wobei der Film mit einer wässrigen Lösung eines Salzes von zumindest einem Metall, ausgewählt aus der Gruppe von Metallen, deren Karbonatsalze oder Sulfatsalze eine Löslichkeit von 1 g/100 g oder weniger bei Raumtemperatur aufweisen, behandelt ist und wobei das Metall an die Carboxylgruppen und/oder Sulfonsäuregruppen auf der Oberfläche der Diamantpartikel gebunden ist.