发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum Behandeln von plattenförmigem Prozessgut
摘要 Bei Vorrichtungen und Verfahren zum Behandeln eines plattenförmigen Prozessguts, das eine Unterseite, eine Oberseite und Kanten zwischen der Unterseite und der Oberseite aufweist, mit einem Prozessmedium wird eine Transporteinrichtung verwendet, die eine Endloseinrichtung mit von derselben vorstehenden Auflageelementen aufweist. Eine Unterseite des plattenförmigen Prozessguts wird auf Auflageelemente der Transporteinrichtung aufgelegt und die Transporteinrichtung wird angetrieben, um die Auflageelemente zusammen mit dem aufliegenden plattenförmigen Prozessgut parallel zu einem Prozessmedienspiegel eines Prozessmediums zu bewegen. In einem ersten Betriebsmodus nehmen während der Bewegung des plattenförmigen Prozessguts parallel zu dem Prozessmedienspiegel keine Teile der Transporteinrichtung mit den Kanten des plattenförmigen Prozessguts Eingriff.
申请公布号 DE102012210618(A1) 申请公布日期 2013.08.01
申请号 DE201210210618 申请日期 2012.06.22
申请人 SINGULUS STANGL SOLAR GMBH 发明人 MICHAEL, GRAEFF;MENSCHICK, MARTIN MAXIMILIAN
分类号 B65G49/06;H01L21/677 主分类号 B65G49/06
代理机构 代理人
主权项
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