Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen dielektrischer Schichten im Mikrowellenplasma

摘要

Mikrowellenplasmavorrichtung, die folgendes aufweist: wenigstens eine Elektrode (21, 22, 23), die ein Anschlussende und ein freies Ende besitzt und am Anschlussende mit einem Mikrowellengenerator (20) verbindbar ist; und wenigstens eine Plasmazündvorrichtung (23), wobei die wenigstens eine Elektrode (21, 22, 23) einen koaxialen Innenleiter (21) aus elektrisch leitendem Material, sowie einen diesen zumindest teilweise umgebenden und von ihm beabstandeten koaxialen Außenleiter (22) aus elektrisch leitendem Material aufweist, wobei der koaxiale Außenleiter (22) in seiner Längsrichtung wenigstens einen ersten Teilbereich (31) aufweist, in welchem er den koaxialen Innenleiter (21) vollständig umschließt, und daran anschließend wenigstens einen weiteren Teilbereich (32) aufweist, in dem der Außenleiter (22) so ausgebildet ist, dass er sich ausgehend vom ersten Teilbereich (31) her zum freien Ende der wenigstens einen Elektrode (21, 22, 23) hin verjüngt und dadurch den koaxialen Innenleiter (21) immer weniger umschließt, sodass eine vom Mikrowellengenerator (20) erzeugte Mikrowellenstrahlung in dem wenigstens einen weiteren Teilbereich (32) im Wesentlichen senkrecht zur Längsachse des koaxialen Innenleiters (21) austreten kann, wenn die wenigstens eine Elektrode (21, 22, 23) mit dem Mikrowellengenerator (20) verbunden ist, und wobei die Plasmazündvorrichtung (23) mit dem koaxialen Innenleiter (21) verbunden ist.