镀膜装置

摘要

本发明提供一种镀膜装置，包括一个镀膜室、多个靶材、多个挡板以及多个驱动机构，所述多个靶材与多个挡板一一对应地设置于镀膜室内，每个驱动机构均包括驱动马达、与驱动马达相连接的齿轮以及与齿轮啮合的齿轨，所述驱动马达用于驱动齿轮转动，所述齿轮用于在驱动马达的驱动下带动齿轨移动，所述多个驱动机构的齿轨与所述多个挡板一一对应，每个齿轨均固设于一个与其对应的挡板，用于通过与齿轮的啮合带动该挡板相对于与该挡板对应的靶材移动，以使得挡板与该靶材相对从而遮蔽该靶材或者使得挡板与该靶材相背从而暴露该靶材。

主权项

一种镀膜装置，包括一个镀膜室、多个靶材、多个靶座电极、多个挡板以及多个驱动机构，每个靶材与一个靶座电极相互连接，所述多个靶材与多个挡板一一对应地设置于镀膜室内，每个驱动机构均包括驱动马达、与驱动马达相连接的齿轮以及与齿轮啮合的齿轨，所述多个驱动机构的齿轨与所述多个挡板一一对应，每个齿轨均固设于一个与其对应的挡板，每个挡板均具有一个靠近靶材的第一表面，所述第一表面的横截面为半圆形，每个齿轨的横截面形状也为半圆形，每个齿轮均位于一个靶材的一侧，且与该靶材的侧面相对，所述驱动马达用于驱动齿轮转动，所述齿轮用于在驱动马达的驱动下带动齿轨移动，用于通过与齿轮的啮合带动该挡板相对于与该挡板对应的靶材移动，以使得挡板与该靶材相对并与所述靶座电极相背从而遮蔽该靶材或者使得挡板与该靶材相背并与所述靶座电极相对从而暴露该靶材。