超短脉冲激光的光斑中心坐标的测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种超短脉冲激光的光斑中心坐标的测量装置及方法，该装置的结构是，包括固定在平移台上的光电传感器，光电传感器的阳极朝上；光电传感器与宽带示波器串联构成的电路与电容并联；电容与电阻、直流电源构成串联回路，利用上述装置，按照以下步骤实施：1)使超短脉冲激光垂直地入射光电传感器的阳极，光电传感器的两极之间施加直流偏置电压，将超短激光脉冲转换为超短电脉冲；2)粗调平移台，使宽带示波器上出现超短电脉冲的波形；3)先后沿x、y方向微调平移台，使超短电脉冲的幅值达到最大值；4)读取平移台显示的坐标读数，即为超短脉冲激光的光斑中心的测量数值。本发明结构简单、操作简便、测量准确。

主权项

一种超短脉冲激光的光斑中心坐标的测量装置，其特征在于：包括固定在平移台（6）上的光电传感器（4），光电传感器（4）竖直放置，光电传感器（4）的阳极与水平入射的超短脉冲激光垂直；光电传感器（4）与宽带示波器（5）串联构成的电路与电容（3）并联；电容（3）与电阻（2）、直流电源（1）依次串联构成回路，直流电源（1）的负极接地；所述的光电传感器（4）选用半导体晶圆，晶圆直径1‑3英寸，晶圆的上、下表面分别设置有不透明金属电极，上表面为阳极，下表面为阴极，并与半导体形成良好的欧姆接触，其中，阳极一面的金属覆盖面居中设置有一个十字形狭缝，十字形狭缝的缝隙为0.1‑5mm，并要求待测光斑的高斯半径与十字形狭缝缝隙宽度的比值不小于1.5倍；阴极一面的电极形状的技术要求是：1）减小与阳极金属层的正对面积以减小寄生电容；2）保证均流效果。