发明名称 |
一种石墨烯铜线生产装置 |
摘要 |
本实用新型涉及铜导线生产技术领域,公开了一种石墨烯铜线生产装置。包括化学气相沉积炉,其特征在于,所述化学气相沉积炉包括方形炉体及设于所述炉体内的方形沉积室,在所述炉底与室底之间,所述炉壁与室壁之间分别设有加热板;所述沉积室内竖直设有两个辊筒,所述辊筒外圆上设有螺旋过线槽;所述炉体的底部设有与所述沉积室相通的进气口,所述炉体的顶部设有与所述沉积室相通的出气口;所述炉体的一侧设有与所述沉积室连通的进线孔,所述炉体的另一侧设有与所述沉积室连通的出线孔。本实用新型的有益效果在于,解决了由于沉积时间过长而导致本工序难于连续生产的困难,同时也保证了化学沉积效果和产品质量。 |
申请公布号 |
CN203096170U |
申请公布日期 |
2013.07.31 |
申请号 |
CN201320104823.X |
申请日期 |
2013.03.08 |
申请人 |
山东鑫汇铜材有限公司 |
发明人 |
袁光兵;黄新华;朱敏 |
分类号 |
C23C16/54(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/54(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种石墨烯铜线生产装置,包括化学气相沉积炉,其特征在于,所述化学气相沉积炉包括方形炉体及设于所述炉体内的方形沉积室,所述炉体包括炉底、炉壁及炉盖,所述沉积室包括室底、室壁及室盖,在所述炉底与室底之间,所述炉壁与室壁之间分别设有加热板;所述沉积室内竖直设有两个辊筒,所述辊筒外圆上设有螺旋过线槽;所述炉体的底部设有与所述沉积室相通的进气口,所述炉体的顶部设有与所述沉积室相通的出气口;所述炉体的一侧设有与所述沉积室连通的进线孔,所述炉体的另一侧设有与所述沉积室连通的出线孔。 |
地址 |
265400 山东省烟台市招远市经济开发区鑫汇路8号 |