物理量传感器以及电子设备

摘要

本发明提供物理量传感器以及电子设备，能够简化制造工序、并且可靠性高。本发明的物理量传感器（100）具有：基板（10）；摆动体（20），其设置在基板（10）的上方；支撑部（40、42），其支撑摆动体（20），沿着第1轴进行配置；以及检测电极（50、52），其设置于基板（10），与摆动体（20）相对配置，摆动体（20）具有与第2轴交叉的一对侧面，该第2轴在平面中与所述第1轴垂直，在所述一对侧面的至少一方，设置有突起部（30）。

主权项

一种物理量传感器，其包含：基板；摆动体，其设置在所述基板上方；支撑部，其支撑所述摆动体，沿着第1轴进行配置；以及检测电极，其设置于所述基板，与所述摆动体相对配置，所述摆动体具有与第2轴交叉的侧面，该第2轴在平面中与所述第1轴垂直，在所述侧面的至少一部分，设置有在所述平面内延伸的突起部。