具有宽度周期性渐变表面的全息光栅制备方法

摘要

一种具有宽度周期性渐变表面的全息光栅的制备方法，包括如下步骤：步骤1：使用材料生长技术，在一洁净衬底表面沉积薄膜材料；步骤2：在薄膜材料上旋涂光刻胶并前烘；步骤3：利用全息干涉曝光技术，曝光、显影得到图形化的光刻胶掩膜板，从而形成由衬底、薄膜材料和图形化的光刻胶掩膜板所组成的基片；步骤4：对基片表面行刻蚀；步骤5：去除剩余的光刻胶，形成具有宽度周期性渐变表面的全息光栅，完成制备。采用本发明制备的宽度周期性渐变全息光栅具有面积大、结构有序可控、重复性好、稳定性高、制作成本低、操作简单等优点。

主权项

一种具有宽度周期性渐变表面的全息光栅的制备方法，包括如下步骤：步骤1：使用材料生长技术，在一洁净衬底表面沉积薄膜材料；步骤2：在薄膜材料上旋涂光刻胶并前烘；步骤3：利用全息干涉曝光技术，曝光、显影得到图形化的光刻胶掩膜板，从而形成由衬底、薄膜材料和图形化的光刻胶掩膜板所组成的基片；步骤4：对基片表面行刻蚀；步骤5：去除剩余的光刻胶，形成具有宽度周期性渐变表面的全息光栅，完成制备。