具有MEMS光阀的显示装置及其形成方法

摘要

一种具有MEMS光阀的显示装置及其形成方法，具有MEMS光阀的显示装置包括：基底；位于所述基底上的固定光栅、MEMS光阀，所述MEMS光阀用于控制所述固定光栅开启、关闭；所述基底上设置有卡口；所述MEMS光阀包括：可动光栅，设于所述卡口内，且与所述卡口接触时两者电导通；可动电极、固定电极，所述可动电极的一端与所述可动光栅固定连接，另一端悬空，所述固定电极和所述可动电极形成电容，在所述固定电极和可动电极之间具有电势差时，所述可动电极带动可动光栅在所述卡口内移动，开启和关闭所述固定光栅。本发明可以增强MEMS光阀的灵敏度，提高可靠性。

主权项

一种具有MEMS光阀的显示装置，包括：基底；位于所述基底上的固定光栅、MEMS光阀，所述MEMS光阀用于控制所述固定光栅开启、关闭；其特征在于，所述基底上设置有卡口；所述MEMS光阀包括：可动光栅，设于所述卡口内，且与所述卡口接触时两者电导通；可动电极、固定电极，所述可动电极的一端与所述可动光栅固定电连接，另一端悬空；所述固定电极位于所述可动电极的一侧或两侧，和所述可动电极形成电容，通过控制所述固定电极与所述可动电极之间的电势差，可控制所述可动电极带动可动光栅在所述卡口内移动，开启和关闭所述固定光栅。