碳化物复合相变存储材料及制备方法

摘要

本发明公开了一种碳化物复合相变存储材料。该碳化物复合相变存储材料由碳化物和相变材料复合而成。碳化物的作用是将相变材料分隔成纳米级岛状区域，从而使得相变材料的生长受到碳化物的抑制，大大增加了晶界数，增大了复合材料的电阻率，使得复合材料拥有良好的相变特性和热稳定性。此外，可通过增加碳化物比例的方法来调节相变材料的晶态电阻值，避免由于晶态电阻过小而引起的阈值电流或功耗过大问题。

主权项

一种碳化物复合相变存储材料，其特征在于：由碳化物和至少一种相变材料复合而成；所述碳化物在碳化物复合相变存储材料中的摩尔百分比含量为5%‑50%；所述的相变材料为硫系化合物；所述的碳化物为碳化四硼、二碳化三铬、碳化铪、碳化二钼、碳化铌、碳化硅、碳化钽、碳化钛、碳化钨、碳化二钨、碳化钒、碳化锆中的一种或多种。