化学机械抛光传输机器人的递归优化控制系统

摘要

本发明公开了一种化学机械抛光传输机器人的递归优化控制系统，包括：上位机控制器、主控制器、运动控制器、检测器、多个伺服驱动器、多个电机和编码器，其中，检测器用于检测传输机器人的工作状态参数以生成检测信息；上位机控制器用于接收用户输入的操作指令；编码器用于检测传输机器人的当前运动位移和当前运动角度；主控制器用于根据操作指令和运动控制器发送的检测信息生成传输机器人的运动指令，运动控制器用于以递归LQ优化控制模式计算电机控制量；多个伺服驱动器，每个伺服驱动器用于根据相应的电机控制量计算相应电机的控制转矩；多个电机，每个电机用于在相应的控制转矩的控制下驱动传输机器人运动。

主权项

一种化学机械抛光传输机器人的递归优化控制系统，其特征在于，包括：上位机控制器、主控制器、运动控制器、检测器、多个伺服驱动器、多个电机和编码器，其中，所述检测器用于检测传输机器人的工作状态参数以生成检测信息；所述上位机控制器用于接收用户输入的操作指令；所述编码器分别与所述运动控制器和多个所述电机相连，用于检测所述传输机器人的当前运动位移和当前运动角度；所述主控制器分别于所述上位机控制器和所述运动控制器相连，用于根据所述操作指令和所述运动控制器发送的检测信息生成传输机器人的运动指令，并将所述运动指令发送给所述运动控制器，所述运动控制器用于以递归LQ优化控制模式计算电机控制量；多个所述伺服驱动器与所述运动控制器相连，其中，每个所述伺服驱动器用于根据相应的所述电机控制量计算相应电机的控制转矩；多个电机分别与所述多个伺服驱动器和所述传输机器人相连，其中，每个所述电机用于在相应的控制转矩的控制下驱动所述传输机器人运动。