一种磁场均匀镀膜调节装置

摘要

本实用新型公开了一种磁场均匀镀膜调节装置，包括阴极底座，阴极底座上安装有阴极靶，其特征在于：阴极底座与磁铁相向隔离设置，磁铁上设有至少两块可移动的磁铁背板，磁铁背板外侧连接有调节装置。本实用新型通过设置多块可移动的磁铁背板和设置在其上带刻度标识的调节装置，可精确地调节磁铁到靶面的距离，保持靶面磁场强度的一致性，膜层性能均匀。本实用新型不仅结构简单，调节方便，镀膜效果好，而且提高了生产效率，简化了调节磁场的步骤。

主权项

一种磁场均匀镀膜调节装置，包括阴极底座，阴极底座上安装有阴极靶，其特征在于：阴极底座与磁铁相向隔离设置，磁铁上设有至少两块可移动的磁铁背板，磁铁背板外侧连接有调节装置。