发明名称 加热装置及与其相关的方法
摘要 本发明一般涉及加热装置及使用该加热装置的方法。在一些实施例中,加热装置包含具有中空圆柱形加热腔的压力壳、设置于该中空圆柱形加热腔中的环状遮热板、及至少一设置于该环状遮热板的内部容积中的加热组件。在另一实施例中,一种制备三氯硅烷的方法,包括以下步骤:引导具备四氯化硅的反应物流至加热装置中、令电流通过加热组件以加热该反应物流、及引导加热的该反应物流至反应器中。
申请公布号 CN103228351A 申请公布日期 2013.07.31
申请号 CN201180056910.6 申请日期 2011.09.27
申请人 GTAT公司 发明人 S·法伦布鲁克;B·黑兹尔坦
分类号 B01J19/00(2006.01)I;C01B33/107(2006.01)I 主分类号 B01J19/00(2006.01)I
代理机构 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 代理人 程伟;王锦阳
主权项 一种加热装置,其包括:具有一中空圆柱形加热腔的一压力壳;设置于该中空圆柱形加热腔中的一环状遮热板;以及至少一设置于该环状遮热板的内部容积中的加热组件。
地址 美国新罕布什尔州