碳纳米管薄膜三电极二氧化硫传感器

摘要

本发明公开了一种碳纳米管薄膜三电极二氧化硫传感器及其浓度测量方法，传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极设有透气孔，其内表面粘接有分布着碳纳米管薄膜的基底；第二电极中心设有引出孔；第三电极板面设有盲孔；三个电极相互隔离。方法包括：1)放置三个不同极间距传感器；2)在电极上施加电压；3)测量各传感器离子流值；4)测得值与二氧化硫气体浓度、温度、湿度标定值组成样本，并与插值样本，构建气体浓度测量数据库；5)构建数据融合仪，建立二氧化硫气体浓度准确测量模型；6)传感器实测值输入测量模型，获得二氧化硫气体浓度准确测量值。该传感器检测气体灵敏度高，线性度好，准确度高。

主权项

碳纳米管薄膜三电极二氧化硫传感器，其特征在于：包括三个自上而下依次分布的第一电极、第二电极和第三电极，所述第一电极由内表面粘接有分布着碳纳米管薄膜的基底以及设有透气孔的电极构成；第二电极由中心设有引出孔的引出极极板构成；第三电极由板面设有盲孔的收集极构成；该三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离；所述三个电极中相邻两个电极的极间距均为200μm；所述第一电极与第二电极极板正对面积为17mm2，第二电极与第三电极极板正对面积为190mm2；所述第一电极的电极表面的透气孔为2个，在电极内侧表面粘接的基底上附着有碳纳米管薄膜；所述第二电极引出极中心设有1个引出孔；所述第三电极收集极盲孔与第二电极的引出孔相对应，盲孔的数量为1个。