一种用于光刻机检焦系统的高精度多通道数据采集系统

摘要

本发明公开了一种用于光刻机检焦系统的高精度多通道数据采集系统，包括输入接口模块，模拟信号调理电路模块，模数转换模块，参考电压模块，精密电源模块，光电隔离模块，单片机控制模块，串并转换模块，数据存储模块，输出接口模块。输入接口模块的输出端与模拟信号调理电路的输入端相连，模拟信号调理模块，参考电压模块和精密电源模块的输出端均与模数转换模块相连，模数转换器的输出端连光电隔离模块，光电隔离模块的输出端与单片机控制模块相连，单片机控制模块与串并转换模块相连，串并转换模块的输出端连数据存储模块，数据存储模块的输出端与数据输出接口模块相连。本发明采集精度高，适用于要求较高的多通道数据采集系统。

主权项

一种用于光刻机检焦系统的高精度多通道数据采集系统，其特征在于包括：输入接口模块、模拟信号调理电路模块、模数转换模块、参考电压模块、精密电源模块、光电隔离模块、单片机控制模块、串并转换模块、数据存储模块和输出接口模块；输入接口模块的输出端与模拟信号调理电路的输入端相连，模拟信号调理模块，参考电压模块和精密电源模块的输出端均与模数转换模块相连，模数转换器的输出端连光电隔离模块，光电隔离模块的输出端与单片机控制模块相连，单片机控制模块与串并转换模块相连，串并转换模块的输出端连数据存储模块，数据存储模块的输出端与数据输出接口模块相连。