电子束加工设备的磁聚焦装置

摘要

本实用新型公开一种电子束加工设备的磁聚焦装置，主要由励磁绕组和供电电源组成；励磁绕组包括主励磁绕组和辅助励磁绕组，且主励磁绕组的匝数多于辅助励磁绕组的匝数；主励磁绕组和辅助励磁绕组产生的磁场在电子束通道中的方向都与电子束飞行方向平行；供电电源包括主供电电源和辅助供电电源；主供电电源为采用比例-积分调节的可调直流电源，且与主励磁绕组相连；辅助供电电源为采用比例反馈调节的可调直流电源或交变电源，且与辅助励磁绕组相连。本实用新型能够消除磁滞线的影响，使得磁聚焦装置的励磁电流与其产生的磁感应强度存在单值对应关系；同时能够实现快速调整电子束焦距的功能。

主权项

电子束加工设备的磁聚焦装置，主要由励磁绕组和供电电源组成；其特征在于：励磁绕组包括主励磁绕组(2‑7)和辅助励磁绕组(4‑7)，且主励磁绕组(2‑7)的匝数多于辅助励磁绕组(4‑7)的匝数；主励磁绕组(2‑7)和辅助励磁绕组(4‑7)产生的磁场在电子束通道中的方向都与电子束飞行方向平行；供电电源包括主供电电源和辅助供电电源；主供电电源为采用比例‑积分调节的可调直流电源，且与主励磁绕组(2‑7)相连；辅助供电电源为采用比例反馈调节的可调直流电源或交变电源，且与辅助励磁绕组(4‑7)相连；上述主供电电源包含有第一整流滤波电路(2‑1)、功率调整管(2‑2)、第一续流二极管(2‑3)、第一取样电阻(2‑4)、换向继电器、第一调节器(2‑9)和第二续流二极管(2‑11)；第一整流滤波电路(2‑1)的输入端与外部的交流电源相连，第一整流滤波电路(2‑1)的正输出端与功率调整管(2‑2)的集电极连接，第一整流滤波电路(2‑1)的负输出端与第一续流二极管(2‑3)的阳极连接；功率调整管(2‑2)的发射极与第一续流二极管(2‑3)的阴极相连，并与电子束加工设备控制电路的公共端相接；第二续流二极管(2‑11)并接在换向继电器的控制绕组(2‑10)两端，且第一续流二极管(2‑3)的阴极经由第一取样电阻(2‑4)与换向继电器的一组三端触点(2‑6)的公共端连接，第一续流二极管(2‑3)的阳极直接与换向继电器的另一组三端触点(2‑6)的公共端连接；换向继电器的一组三端触点的常开触点(2‑6)与另一组三端触点的常闭触点(2‑6)分别相连，作为输出端；主励磁绕组(2‑7)的两端分别接在换向继电器触点(2‑6)的2个输出端上；第二续流二极管(2‑11)的阳极与电子束加工设备控制电路的公共端相连，第二续流二极管(2‑11)的阴极与电子束加工设备中央控制器(2‑8)的输出端相连；换向继电器的控制绕组(2‑10)的一端连接电子束加工设备中央控制器(2‑8)，换向继电器的控制绕组(2‑10)的另一端与电子束加工设备控制电路的公共端相连；第一调节器(2‑9)接收第一取样电阻(2‑4)的输出主励磁电流采样信号和电子束加工设备中央控制器(2‑8)输出的主励磁电流给定信号，通过比较、比例一积分运算和放大处理后，输出信号接至功率调整管(2‑2)的基极。